1 / 10

ЭЛЕКТРОННАЯ ОЖЕ-СПЕКТРОСКОПИЯ

ЭЛЕКТРОННАЯ ОЖЕ-СПЕКТРОСКОПИЯ. 1. Чувствительность определяется отношением сигнал / шум и составляет – 10-3, т.е. 0,1% 2. Латеральное разрешение – 30 нм 3. Разрешение по глубине определяется: а) – глубиной выхода оже-электронов б) – шероховатостью поверхности.

adina
Download Presentation

ЭЛЕКТРОННАЯ ОЖЕ-СПЕКТРОСКОПИЯ

An Image/Link below is provided (as is) to download presentation Download Policy: Content on the Website is provided to you AS IS for your information and personal use and may not be sold / licensed / shared on other websites without getting consent from its author. Content is provided to you AS IS for your information and personal use only. Download presentation by click this link. While downloading, if for some reason you are not able to download a presentation, the publisher may have deleted the file from their server. During download, if you can't get a presentation, the file might be deleted by the publisher.

E N D

Presentation Transcript

  1. ЭЛЕКТРОННАЯ ОЖЕ-СПЕКТРОСКОПИЯ

  2. 1. Чувствительность определяется отношением сигнал/шум и составляет – 10-3, т.е. 0,1% 2. Латеральное разрешение – 30 нм 3. Разрешение по глубине определяется: а) – глубиной выхода оже-электронов б) – шероховатостью поверхности

  3. ХИМИЧЕСКИЕ СДВИГИ В ОЖЕ-СПЕКТРАХ

  4. Послойный анализ • Изучение сегрегации, в том числе • радиационно-стимулированной

  5. РЕНТГЕНОВСКИЙ МИКРОАНАЛИЗ

  6. PIXE - ?

  7. ФОТОЭЛЕКТРОННАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ

  8. ХИМИЧЕСКИЕ СДВИГИ В СПЕКТРАХ ФОТОЭЛЕКТРОНОВ

More Related