1 / 24

TRDE ZAŠČITNE PREVLEKE

TRDE ZAŠČITNE PREVLEKE. Gregor Ahtik. AHTIK GREGOR. Vrste prevlek Materiali trdih prevlek Nanašanje prevlek PVD CVD. VRSTE PREVLEK. Trde prevleke PVD , CVD ( TiN, TiC …) Toplotne prevleke Zaščitne prevleke. Materiali Trdih prevlek.

morse
Download Presentation

TRDE ZAŠČITNE PREVLEKE

An Image/Link below is provided (as is) to download presentation Download Policy: Content on the Website is provided to you AS IS for your information and personal use and may not be sold / licensed / shared on other websites without getting consent from its author. Content is provided to you AS IS for your information and personal use only. Download presentation by click this link. While downloading, if for some reason you are not able to download a presentation, the publisher may have deleted the file from their server. During download, if you can't get a presentation, the file might be deleted by the publisher.

E N D

Presentation Transcript

  1. TRDE ZAŠČITNE PREVLEKE Gregor Ahtik AHTIK GREGOR

  2. Vrste prevlek • Materiali trdih prevlek • Nanašanje prevlek • PVD • CVD

  3. VRSTE PREVLEK • Trde prevleke PVD , CVD ( TiN, TiC …) • Toplotne prevleke • Zaščitne prevleke

  4. Materiali Trdih prevlek • Oksidi(Al2O3,ZrO2…) • Boridi, Karbidi, Nitridi(Al, Si, B, diamant) • Boridi, karbidi in nitridi prehodnih kovin (Ti, Cr, Zr, W,V,Hf in Al)

  5. LASTNOSTI TRDIH PREVLEK • Zelo odporne proti obrabi • Zelo odporne proti koroziji • Zelo odporne proti visokim Temperaturam • Imajo zelo ugoden koeficient trenja

  6. CVD PVD TRDE PREVLEKE

  7. CVD POSTOPEK • Kemijska reakcija med substanco ki jo nanašamo in segretim substratom . • VRSTE PREVLEK SO: • Tin ( 2200HV ) • TiC ( 3400HV ) • TiCN ( 2700HV) • Al2O3 ( 3000HV) • PRIMER • TiCl4 + CH4 + N2 + H2 /temp. 550 – 9500C/10 do 100mbar ⇒ TiCN + 4HCl

  8. VEČPLASTNE PREVLEKE • TiC+TiCN+TiN • TiC+Al2O3 • TiC+TiCN+Al2O3 + TiN Al2O3 TiN TiCN TiC Osnovni material

  9. VRSTE PREVLEK CVD TiN ( 2200HV, (25μΩcm ), zlata barva TiC ( 3400HV , (μ=0,15) , siva barva) TiCN ( 2700HV,vijolična barva ) Al2O3 (3000HV)

  10. PVD POSTOPEK • Vakuumsko reaktivno naparevanje • Naprševanje materialov • Enosmerno • Reaktivno • Radiofrekvenčno • Reaktivno ionsko prekrivanje • Ionsko prekrivanje z niskonapetostnim elektronskim lokom • Naprševalna tehnika s planarnim magnetronom • Sistem s Katodnim točkastim lokom • Visokonapetostni elektronski lok z votlo katodo

  11. VRSTE PREVLEK PVD • 1 skupina • TiN (2000-2400HV, 2-5 μm, 400-5000C) • 2 skupina • TiCN ( 3000 – 3300HV, 2 - 3 μm, 400-5000C ) • TiAlN ( 2500 – 3300HV, 2 - 5 μm, 350-4500C ) • CrN ( 1800 – 2200HV, 2 - 5 μm, 350-4500C ) • DLC ( 3500 – 6000HV, 2 - 5 μm, 350-5000C ) • 3 skupina • TiZrN ( 4000HV ) • CrZrN ( 4000HV ) • TiCrN ( 3800HV ) • TiB2 ( 5000HV ) • Cr3C2/CrN (3000-3500 HV) • Beli Ti2N (3000-3400 HV) • Beli ZrN (3200-4000 HV) • MoS2 (250–400 HV)

  12. REAKTIVNO IONSKOPREKRIVANJE

  13. IONSKO PREKRIVANJE Z NIZKONAPETOSTNIM ELEKTRONSKIM LOKOM • TiN, TiCN in CRN (75% svetovne proizvodnje PVD prevlek) Ionski izvir Orodja Negativna prednapetost na orodjih Elektronski lok Izvir-material Pozitivni potencial

  14. TEHNOLOŠKA SHEMA 1.) KATODA 2.) IONIZACIJSKA KOMORA 3.) ORODJA 4.) ELEKTRONSKI LOK 5.) TITAN 6.) ANODA 7.) MAGNET 8.) DC NAPAJALNIK 9.) PLINI

  15. NAPRŠEVALNA TEHNIKA S PLANARNIM MAGNETRONOM Neg. potencial na orodjih Izvir Ti Orodja Magnet

  16. TEHNOLOŠKA SHEMA 1.) Ar in N2 2.) Pomični magnetron 3.) Ti + Al tarča 4.) Orodja 5.) Vrtljivi nosilec orodij 6.) napajalnik

  17. SISTEM S KATODNIM TOČKASTIM LOKOM Neg. potencial na orodjih Orodja Magnet Izvir, material Poz. potencial Neg. potencial na orodjih

  18. TEHNOLOŠKA SHEMA 1.) DOVOD PLINOV 2.) VAKUUMSKI SISTEM 3.) ORODJA 4.) VRTLJIVA PREVODNICA 5.) KOMORA 6.) PREDNAPETOST 7.) KATODA, MATERIAL (Ti) 8.) NAPAJALNIK IZVIROV (KATODNI LOK)

  19. SISTEM Z VISOKONAPETOSTNIM ELEKTRONSKIM LOKOM Z VOTLO KATODO Neg. potencial Votla katoda, plazma Orodja Izvir Elektronski lok

  20. TEHNOLOŠKA SHEMA 1.) VOTLA KATODA 2.) VAKUUM 3.) ORODJA 4.) GRELNIK 5.) DOVOD PLINOV 6.) IZVIR, MATERIAL (Ti)

  21. Brez zaščite po 1000 komadih Zaščita s TiN po 9000 komadih

  22. Zaščita s TiN po 38m obdelave Brez zaščite po 4m obdelave

  23. HVALA ZA VAŠO POZORNOST IN POTRPLJENJE

More Related